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N型太阳能电池Al2O3薄膜钝化性能研究

[作者:郎芳[来源:互联网]| 打印 | 关闭 ]
化。其中化学钝化是源于降低了表面缺陷密度(Dit),场效应钝化是通过大量在c-Si/Al2O3界固化了的负电荷(Qf)电场屏蔽少数载流子来实现的。Al2O3双电导是由带电的(AlO4)1-基团和分离的Al3+离子组成的连续随机的网络。为与局部电中性原则一致,比例应为3∶1,相应的反应为2(Al2O3)=3(AlO4/2)1-+Al3+。此结构下,Al原子有两种不同的结合方式:在(AlO4)1-单元中是四面体对等结构,在与O-相邻的环境中形成八面体间隙结构。固定负电荷的形成可以通过在SiO2/Al2O3界面处O-对Al3+的非对称性屏蔽来完成。 3实验过程及结果 3.1工艺流程 常规N型电池的加工工艺为表面织构化、磷硼共扩散、边缘绝缘、化学处理、PECVD钝化、印刷烧结。通过在化学处理后PECVD钝化前增加Al2O3薄膜的生长来增加此新的钝化层实现新工艺流程。 3.2Al2O3薄膜的制备 实验中Al2O3薄膜由热原子层沉积法来制备,以臭氧(O3)和三甲基铝(TMA)为反应前驱体,在反应炉中175℃下反应生成Al2O3,反应炉的压力根据通入气体的不同而变化。臭氧由臭氧发生器以纯氧为原料提供。反应开始先由氮气携带气化的TMA进入反应腔,通入TMA约5s后会在硅片表面均匀吸附一层TMA,然后以氮气吹扫整个腔室以除去多余的TMA分子。接着以氮气携带臭氧进入腔室,臭氧与硅片表面的TMA分子反应生成一层Al2O3薄膜。 3.3测试与表征 实验电池片采用少子寿命测试仪、椭偏仪、电致发光(EL)和光致发光(PL)、扫描电子显微镜(SEM)、CORRESCAN等设备对电池片寿命、膜层厚度、电池片性能、表面形貌等进行表征。 3.4结果与讨论 3.4.1臭氧浓度:对比三组数据,当臭氧浓度为200g/m3时,填充因子最高,光电转换效率也最高。同时发现在不同臭氧浓度条件下电池性能比较接近,说明Al2O3薄膜的钝化性能对于臭氧浓度并不敏感。 3.4.2温度:实验中固定臭氧的浓度为200g/m3,沉积温度从175℃升高到275℃,变化达100℃,而电池的开压下降了约1mV,其他各电池参数都较接近。说明Al2O3薄膜的钝化性能对沉积温度也不敏感。 3.4.3烧结温度:实验中所沉积Al2O3薄膜的膜厚为5nm。带有Al2O3薄膜的电池,随着烧结温度的上升开路电压逐渐下降,而填充因子则先升后降,在烧结温度升高10℃时达到最高,此时电池的效率也达到最高。说明Al2O3薄膜的存在会对浆料的烧结有一定的影响,升高温度有利于形成更好的电极接触。 3.4.4Al2O3薄膜膜厚:对比5nm、3nm和1.5nm厚度的Al2O3薄膜,这三组电池片随着Al2O3膜厚的增加,电池
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